Boron Analyzer 硼分析儀

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GE Sievers UPW Boron 分析儀的特點

  • 可同時連接多個樣品點(選配)︰一台硼分析儀器最多可分析四個樣品點。
  • 只需每年校正一次即可︰無需經常配製校正標準品,節省操作時間。
  • ppt等級的靈敏度︰其分析的範圍為0.015 ppb至20 ppb。

適用領域︰

監控半導體廠超純水供應︰
使用在線型硼分析儀可以對所供應的超純水進行監控,使其符合SIA(半導體工業協會)對于超純水中硼的要求。

控制超純水系統中混床樹脂的再生週期︰
監測超純水製造系統中混床樹脂塔(MB, Mixed Bed)的Boron貫穿曲線,並可借此貫穿曲線,作為控制混床樹脂塔的樹脂再生時間的依據,不但可有效避免Boron擴散至無法再生的Polisher單元或使用端,還可達成樹脂再生週期的最適化進而達到節省再生藥劑的目的。

矽晶圓廠純水硼含量的監控︰
監測超純水系統中供應水的硼含量,可避免晶圓表面遭受污染而使製作出組件的閘氧介電值崩潰電壓(Breakdown Voltage of Gate Oxide)、P-N接合漏電流(P-N Junction Leakage Current)等電氣特性惡化,維持產品的高良率。